晶圓搬運用機器人GCR4280-300-AM
4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂特點：
超潔凈間用多軸型, 4軸水平多關(guān)節(jié)型清潔機械手GCR4000-AM系列
適用于支持300mm的半導(dǎo)體制造裝置內(nèi), 檢查裝置等的晶圓搬運
機械手臂可以單獨對應(yīng)3個FOUP
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動作監(jiān)視器
全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運玻璃基板
手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維), 鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對被搬運物體種類，設(shè)備布局等要求提供最優(yōu)的手指


產(chǎn)品型號列表
產(chǎn)品型號 升降軸最大行程
GCR4280-300-AM 300mm


4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機械手臂GCR4280基本參數(shù)：
使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂 單臂
到達距離 553mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸最大行程 300mm
可搬運質(zhì)量 小于4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準)