.jpg "半導體生產氣體流量控制器3810DS低溫質量流量計")
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| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | KOFLOC | ||
| 產品特性 | 微小流量 | ||
| 是否進口 | 否 | ||
| 產地 | 中國 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 測量范圍 | 0.01-500SLPMm3/h | ||
| 精度等級 | 1 | ||
| 公稱通徑 | φ6-φ50mm | ||
| 適用介質 | 氣體、液體 | ||
| 工作壓力 | 0-1MpaMPa | ||
| 工作溫度 | 0-100攝氏度℃ | ||
| 規格 | 質量流量計 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 類型 | 質量流量計 | ||
| 型號 | EX700 | ||
半導體生產氣體流量控制器3810DS低溫質量流量計
日本KOFLOC-DF300C系列質量流量控制器-數顯式.jpg)
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作為8500MC系列的升級型號，DF300C擁有更
更快反應速度、多種氣體可切換等功能，上市以來受到
新老客戶的歡迎，更多應用在對精度、速度方面有更高要求場合
24VDC、4-20MA、RS485通訊等等電氣參數，更符合市場需求
同時自帶LED顯示屏(瞬時、累計)，讓現場操作更加方便、快捷.jpg)
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自帶LED顯示面板，可本地設定流量
瞬時、累計流量 一起顯示
內置3點流量報警輸出
可修改滿量程、氣體種類.jpg)
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性能參數
DF300C系列質量流量控制器-數顯式 | ||
型號 | DF300C | DF350C |
量程(N2) | 10SCCM-20SLPM | 20-50SLPM |
氣體 | 所有非腐蝕氣體和 部分腐蝕氣體 | |
精度 | ±1.0SP(＞35FS) ±0.35FS(≤35FS) | ±1.0FS |
重復性 | ±0.25FS | |
有效范圍 | 2- | |
響應時間 | 1秒以內 | |
耐壓 | 1.0Mpa | |
進口壓力 | 0.5Mpa | |
泄漏率 | 1*10-8pa·m3/s以下 | |
溫度范圍 | 5~50℃ | |
精度 溫度 | 15~35℃ | |
保存溫度 | -10~60℃ | |
濕度范圍 | 10-90RH(不能結露) | |
材質 | 本體SUS316、SUS316L | |
密封圈VITON，選配NBR或FKM | ||
電氣接口 | DB15 | |
通訊接口 | 圓形4芯 | |
模擬信號 | 輸入/輸出0-5V、4-20mA 可切換 | |
報警輸出3點 | NPN、3點、35V、50mA | |
供電 | 24VDC(±10)300mA； | |
管路連接 | 標配1/4F9 | |
選配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | ||
重量 | 約800g | |
電氣連接
DB15針腳定義：
針腳 | 定義 |
1針腳 | 24VDC |
2針腳 | 電源GND |
3針腳 | 空 |
4針腳 | 閥門開關信號 |
5針腳 | 流量設定信號 |
6針腳 | 流量輸出信號 |
7針腳 | 輸出COM |
8針腳 | 輸出COM |
9針腳 | 報警輸出COM |
10針腳 |
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