真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂SVCR3000系。適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運(yùn)
相比SVHR系列機(jī)械手臂，可搬運(yùn)質(zhì)量提升2倍，具有較好的性?xún)r(jià)比優(yōu)勢(shì)
另外還保持了和SVHR系列機(jī)械手臂的兼容性，方便客戶(hù)對(duì)設(shè)備進(jìn)行升級(jí)改造
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng):160mm, 190mm, 260mm, 330mm

手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置
真空密封：磁流體密封裝置和波紋管
提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5μm級(jí)過(guò)濾器
配備動(dòng)作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)
S曲線(xiàn)加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
可以選配2相步進(jìn)電機(jī)規(guī)格
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
可以針對(duì)搬運(yùn)物體，客戶(hù)設(shè)備布局的實(shí)際情況提供最優(yōu)的手指

SVCR3260真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境
真空部：溫度 15℃～50℃
驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部：潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
溫度 15℃～40℃
手臂 單臂
到達(dá)距離：520mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸最大行程 20mm / 40mm
可搬運(yùn)質(zhì)量 2kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))

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