在線微量濕度異動(dòng)變送器Pura Plus

品 牌：密析爾

產(chǎn) 地：英國

濕度變送器Pura Plus產(chǎn)品簡介

新型的Pura Plus是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設(shè)備尺寸和指標(biāo)的最新需求變化而特殊設(shè)計(jì)的。Pura Plus是一款在線微量濕度異動(dòng)變送器，多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)最末端，用來監(jiān)測超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜，涉及到很多分支、節(jié)點(diǎn)和使用點(diǎn)。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點(diǎn)后，會(huì)由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計(jì)、元件故障或過程出錯(cuò)等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中Pura Plus能夠提供快速的響應(yīng)指示，在20 ppb濕氣級別下1 ppb的異動(dòng)的響應(yīng)時(shí)間小于1 分鐘。

濕度變送器Pura Plus產(chǎn)品特點(diǎn)

對ppb級別濕度異動(dòng)的快速響應(yīng)  

高靈敏度 ，實(shí)時(shí)監(jiān)測

多點(diǎn)測量安裝的全新概念

小巧經(jīng)濟(jì)

信號燈式的狀態(tài)指示

警告和報(bào)警點(diǎn)設(shè)置可編程

Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容

遠(yuǎn)程控制界面的多通道軟件

(UHP) 超純氣體的管線檢測

濕度變送器Pura Plus技術(shù)參數(shù)

響應(yīng)速度      ：<1 分鐘 20 ppb 濕氣變動(dòng)1 ppb 的響應(yīng)時(shí)間

濕度量程      ：1 ppb to 20,000 ppm

壓力范圍      ：0 to 10 bar

耐壓等級      ：300 bar

泄漏測試      ：0-9 mbar l/s

工作流量范圍：1 ~ 10 l/min

工作溫度      ：5 ~ 40°C

存儲(chǔ)溫度      ：30 ~ 70°C

電    源       ：20 ~ 28 V DC

功    耗       ：5 W 最大

外部保險(xiǎn)絲等級：500 mA 快熔型

數(shù)據(jù)輸出      ：Modbus ASCII 兩線 RS485

警告和報(bào)警輸出：2 路

最大電壓      ：40 V DC

最大電流      ：100 mA

外殼材質(zhì)      ：不銹鋼 AISI 316L, 內(nèi)表面電拋光 <10 Ra

傳感器結(jié)構(gòu)  ：氧化鋁電解質(zhì), 上層鍍金保護(hù), 下層鋁層

內(nèi)部容積      ：4.4cm³

重    量       ：450g

氣路接口      ：1/4" m VCR

電氣接口      ：9 - 針 D - 型 m 接口

電磁兼容性  ：EN50081-2 和 EN50082-2