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X、Y、Z軸行程±6.5mm,精度0.5μm，θX、θY、θZ移動量±2.5°，分辨率29〃/格
產品高精度、高剛性、高品質，底座和臺面的材料采用特殊編號的硬質鋁合金 材質不受外界環境溫度變化，保證定位精度，穩定性并無漂移情況產生。
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