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垂直結構可以有效解決正裝結構LED的兩個問題，垂直結構GaN基LED采用高熱導率的襯底（SGe以及Cu等襯底）取代藍寶石襯底，在很大程度上提高了散熱效率；垂直結構的LED芯片的兩個電極分別在LED外延層的兩側，通過圖形化的n電極，使得電流幾乎全部垂直流過LED外延層，橫向流動的電流極少，可以避免正裝結構的電流擁擠問題，提高發光效率，同時也解決了P極的遮光問題，提升LED的發光面積。垂直結構LED的制作方法GaN基垂直結構LED工藝與正裝結構LED工藝的差異在于，垂直結構LED需要引入襯底轉移技術。
