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廢氣物質通過吸收光子或其他粒子的能量，使得化學鍵斷裂，形成游離態的原子，再經過一系列的氧化還原等反應，終生成H2O和CO2等簡單物質。經過長期研究發現，當化學物質通過吸收能量(如熱能、光子能量等)，可以使自身的化學性質變得更加活躍甚至被裂解。當吸收的能量大于化學鍵鍵能，即可使得化學鍵斷裂，形成游離的帶有能量的原子或基團。在波長范圍154nm-184.9nm(12KJ/mol-6KJ/mol)高能紫外線的作用下，一方面空氣中的氧被裂解，然后組合產生臭氧；另一方面將污染物化學鍵斷裂，使之形成游離態的原子或基團；同時產生的臭氧參與到反應過程中，使廢氣終被裂解，氧化成簡單的穩定的化合物，如COH2O、N2等。
