簡介：

等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態。對氣體施加足夠

的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的"活性"組分包括：離子、電子、活性基團、激發

態的核素（亞穩態）、光子等。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣

品表面，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等目的.

清洗原理：

等離子體是物質的一種存在狀態，通常物質以固態、液態、氣態三種狀態存在，但在一些特殊的

情況下有第四種狀態存在，如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態中存在下列物質：處于

高速運動狀態的電子；處于激活狀態的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分

子；未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。

在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等離

子體轟擊被清洗產品表面．以達到清洗目的．