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MEMS 酒精氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板，所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)傳感器所處存在氣體環(huán)境中時(shí)，傳感器的電導(dǎo)率隨空氣中被檢測氣體的濃度而發(fā)生改變。該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號。
檢測氣體種類
酒精（C2H5OH）： 1– 500ppm
傳感器特點(diǎn)
低功耗
高靈敏度
結(jié)構(gòu)堅(jiān)固
MEMS工藝
簡單的驅(qū)動電路
快速的響應(yīng)恢復(fù)特性
主要應(yīng)用
適用于手機(jī)、電腦等消費(fèi)類子產(chǎn)品應(yīng)用檢測所處場所的乙醇蒸汽也適用于機(jī)動車駕駛?cè)藛T及其他風(fēng)險(xiǎn)作業(yè)人員的酒后監(jiān)督
技術(shù)指標(biāo)
| 氣敏元件特性 | 符號 | 標(biāo)準(zhǔn)值 | 最小值 | max值 | 單位 |
| 傳感器電阻 | R0 | - | 100 | 500 | KΩ |
| 氣體（C2H5OH）檢測濃度 | FS | - | 1 | 500 | ppm |
| 靈敏度 | S50 | - | 1.2 | 50 | - |
注：1. R0 是在環(huán)境溫度23±5℃，環(huán)境濕度50±10%RH的標(biāo)準(zhǔn)工作條件下測得；
2. S50 即Rs(50ppm C2H5OH)/R0(in air)是在環(huán)境溫度23±5℃，環(huán)境濕度50±10%RH的條件下，傳感器在50ppm C2H5OH氣氛中的電阻值與傳感器在潔凈空氣中的電阻值的比值。
| 條件 | 符號 | 參數(shù)范圍 | 單位 |
| max加熱功率 | PH | 80 | mW |
| 回路電壓 | VS | 4.9 – 5.1 | V |
| 相對濕度范圍 | RH | 5 – 95 | %RH |
| 工作環(huán)境溫度 | Ta | -10 – 60 | °C |
| 儲存溫度范圍 | TS | -40 – 120 | °C |
| 儲存濕度范圍 | RH | 5 - 95 | %RH |
| 名稱 | 符號 | 標(biāo)準(zhǔn)值 | 最小值 | max值 | 單位 |
| 加熱功率 | PH | 70 | 60 | 80 | mW |
| 加熱電壓 | VH | 2.5 | - | - | V |
| 加熱電流 | IH | 23 | - | - | mA |
| 加熱電阻 | RH | 77 | 70 | 87 | Ω |
注：產(chǎn)品參數(shù)如有變動，恕不另行通知
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