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草酸濃度管理器
主要用于LCD ITO、觸摸屏行業(yè) 蝕刻ITO用的草酸的濃度的控制。
本裝置是對(duì)加工機(jī)的處理液濃度進(jìn)行歷時(shí)測(cè)定，通過補(bǔ)給控制水，將濃縮了的游離草酸控制到一定濃度的裝置。
本裝置由濃度測(cè)定部和操作控制部構(gòu)成。
操作控制部搭載有濃度測(cè)定部和加工設(shè)備間的輸出入信號(hào)的控制機(jī)能。
2-1-1 運(yùn)轉(zhuǎn)操作盤的外觀和各部的機(jī)能 5
◇4-3.自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)操作說明 9
◇4-4-2.草酸標(biāo)準(zhǔn)液 校正操作說明 12
4-7-1.各參數(shù)設(shè)定值的變更方法 19
4-7-2.CONTROL PARAMETER SET畫面 21
4-7-3.控制參數(shù)設(shè)定值與控制的關(guān)系 21概要 4
姚強(qiáng)、蔣繼德
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繆星鑫
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