低溫等離子法廢氣處理特點：
1:自動化程度好
2:工藝簡潔，操作簡單，方便
3:凈化效率佳、無二次污染

等離子是由電子、離子、自由基和中性離子流組成，工作狀態呈流星雨狀導電性流體，屬固態、液、氣態之外第四種物質形態。等離子發生器整體保持電中性，安全可靠。
按離子的溫度，等離子分為熱平衡等離子體、非平衡等離子體和低溫等離子體采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。
流星雨狀的高能離子與介質內分子（原理）發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態分子（原子）的內能，發生激發、離解、電離等一系列過程使污染介質處于活化狀態。
污染介質在等離子體的作用下，產生活性自由基，活化后的污染物分子經過等離子體定向鏈化學反應后被脫除。當離子平均能量超過污染介質中化學鍵結合能時，分子鏈斷裂，污染介質分解，并在等離子發生器吸附場的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能發生各類型的化學反應，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介

質內分子濃度及共存的介質成分。