氣流中的粒狀污染物與洗滌液接觸之后，液滴或液膜擴散附于氣流粒子上，或者增濕於粒子，使粒子借著重力、慣性力等作用達到分離去除之目的。氣態污染物質則借著紊流、分子擴散等質量傳送以及化學反應等現象傳送入洗滌液體中達到與進流氣體分離之目的，并可在洗滌液中添加化學物質，以吸收方式控制氣狀臭味物質。
廢氣經由填充式洗滌塔，采氣液逆向吸收方式處理，即液體自塔頂向下以霧狀（或小水滴）噴灑而下。廢氣則由塔底（逆向流）達到氣液接觸之目的。此處理方式，可冷卻廢氣溫度、氣體調理、及顆粒去除，再經過除霧段處理后排入大氣中。