采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。廢氣和惡臭氣體經過等離子體電場區，在納秒級時間范圍內流星雨狀的高能離子與介質內分子(原理）發生非彈性碰撞，等離子猛烈轟擊廢氣和臭味等污染物分子，產生裂變分解反應，將能量轉化成基態分子（原子）的內能，發生激發，離解、電離等一系列過程使污染介質處于活性狀態，污染介質在等離子體的作用下，產生高濃度、高強度、高能量的各種活性自由基、高能電子、高能離子等，同時產生大量臭氧、原子氧、生態氧等混合氣體，進行一系列復雜的分化裂解和氧化還原反應。（初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子。當能量超過氧分子的電離電位時氧分子迅速離子化。失去電子的氧分子變成正極性氧離子（O2+），而釋放的電子又與另一中性氧分子結合變成負極性養離子（O2-),結果是氧離子的兩極分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2等氧聚集的離子群，具有極強的氧化性，可在很短的時間內將污染空氣中的有害成分分解為無害的產物和水）從凈化空氣效率考慮，我們選擇了電暈電流較高化裝置采用脈沖電暈放電低溫等離子體與吸附技術相結合的原理對有害氣體進行消除，其中低溫等離子體主要用來去除硫化氫、氨、苯、二甲苯、甲醛、丙酮、尿烷、樹脂、等氣體及消毒滅菌，吸附材料主要用于去除二氧化碳及臭氧等副產物。凈化裝置由初濾單元低溫等離子體發生器及過濾單元，風機等設備和部件組成。