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功能調系列調阻機
設備特點
•定制化：可針對客戶產品不同的激光調阻應用要求，提供具有較高價值的產品解決方案。
•調阻精度高：獨特的測控技術，測量控制系統精度的一致性好，提升產品附加值；成品率高，單位成本下降。
•軟件可編程：可輕松實現客戶的不同需求以及高自動化運行，也可作為專門的測試平臺，適應性廣。
•使用成本低：采用了最先進的激光器，無耗材，使用成本最低，長期使用節約大量的費用。
•多功能：可實現陶瓷基片的激光劃線、打標，減少設備的再投入。
•專業大理石基座，可有效減小工作臺啟動、停止和加速過程中產生的震動，同時保持機臺溫度的穩定性，可靠性高。
主要技術參數
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激光系統 |
型號規格 |
LT |
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激光波長 |
1064nm |
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激光功率 |
10W |
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典型光斑尺寸 |
35±5µm |
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對焦方式 |
自動，計算機程序控制 |
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冷卻方式 |
風冷 |
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激光束定位系統 |
激光束運動范圍 |
60mm X 60mm |
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運動分辨率 |
0.76µm |
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重復定位精度 |
±5µm |
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分步重復運動系統 |
運動方式 |
精密閉環XY平臺 |
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運動范圍 |
300mm*300mm |
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重復定位精度 |
±10µm |
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最大運動速度（空載） |
180mm/s |
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測量系統 |
電阻測量方式 |
四線制測量或二線制測量 |
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電阻測量精度 |
中阻0.05% |
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電阻測量范圍 |
0.1Ω-100MΩ |
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測量速度 |
25µs/次 |
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零點及滿程誤差校正 |
自動校正 |
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探針定義 |
可編程任意設定 |
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探針板運動 |
自動，計算機程序控制 |
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