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型號 |
AE-100M |
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移動臺(mm) |
平臺尺寸100*100 ，行程13*13 |
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物鏡放大倍率 |
10X |
20X |
50X |
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觀察與量測范圍 |
0.43*0.32 |
0.21*0.16 |
0.088*0.066 |
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光學分辨力(um) |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
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收光角度(Degrees) |
17 |
23 |
33 |
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工作距離 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
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傳感器分辨率 |
640*480像素 |
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機臺重量(kg)/載重kg |
20kg/小于1kg |
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Z軸移動范圍 |
45mm , 手動細調 |
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Z軸位置數字顯示器 |
分辨力1um |
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傾斜調整平臺 |
雙軸/手動調整 |
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高度測量 |
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測量范圍 |
100（um)(400um ,選配) |
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量測分辨力 |
0.1mm |
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重復精度 |
≤ 0.1％ (量測高度:>10um) ≤10um(量測高度1um 10um) ≤ 5nm(量測高度:<1um ) |
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量測控制 |
自動 |
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掃描速度(um/s) |
12(最高) |
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光源 |
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光源類型 |
儀器用鹵素（冷）光源 |
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平均使用壽命 |
1000小時100W 500小時（150W） |
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光強度調整 |
自動/手動 |
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數據處理與顯示用計算機 |
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中央處理運算屏幕 |
雙核心以上CUP |
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影像與數據顯示屏幕 |
17 " 雙晶屏幕 |
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操作系統 |
Windows XP(2) |
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電源與環境要求 |
AC100 --240 V 50-60Hz |
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環境震動 |
VC-C等級以上 |
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測量與分析軟件 |
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量測軟件 |
ImgScan 具VSI/ PVS/PSI 量測模式（PSI量測模式需另選配PSI模塊搭配） |
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分析軟件 |
ISO粗糙度/階高分析,快速傳利業轉換和濾波,多樣的2D和3D觀測視角圓,外形/面積/體積分析,圖像縮放,標準影像文件格式轉換,報表輸出,程序教導量測等. |
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