上海倉庫存HEIDENHAIN光柵尺689697-21LC?185?1040?5,0

測量原理

測量基準(zhǔn)

海德漢光學(xué)掃描的直線光柵尺或編碼器的測量基準(zhǔn)都是周期刻線－光柵

這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上 ，對于大長度的光柵尺，用鋼帶作為光柵尺基體 ， 海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制造***光柵 ，

? AURODUR：在鍍金鋼尺帶上蝕刻柵線；典型柵距：40 ?m ，

? METALLUR：抗污染的鍍金層金屬柵線；典型柵距：20 μm ，

? DIADUR：玻璃基體上超硬鉻線（典型柵距：20 μm）或玻璃基體上三維鉻線格柵（典型柵距：8 μm） ，

? SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵；抗污能力；典型柵距：不超過8 μm ，

? OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵，***反光性能；典型柵距：不超過2 μm ，

除極小柵距外，由該工藝刻制的光柵擁有***的邊緣清晰度和均勻性 ，結(jié)合光電掃描法，邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號的關(guān)鍵 ， 母版光柵采用海德漢公司定制的***刻線機(jī)制造

光電掃描

海德漢的大多數(shù)光柵尺采用光電掃描原理，光電掃描在工作中無接觸，因此無磨損 ，光電掃描可以檢測到非常細(xì)小的光柵，柵線寬度可僅數(shù)微米，并能輸出非常細(xì)小的信號周期信號 ，測量基準(zhǔn)的柵距越小，光電掃描的衍射現(xiàn)象越嚴(yán)重 ，海德漢直線光柵尺采用兩種掃描原理：

? 成像掃描原理用于20 ?m至大約40 ?m的柵距 ，

? 干涉掃描原理用于更小柵距的光柵，例如，8 ?m

成像掃描原理

簡單地說成像掃描原理是用透射光生成信號：兩個柵距相同或相近的光柵與掃描掩膜彼此相對運(yùn)動 ，掃描掩膜的基體為透明色，而作為測量基準(zhǔn)的光柵材料可為透明材料也可以為反光材料 ，當(dāng)平行光穿過光柵時，以特定的間隔形成明暗的光影區(qū) ，掃描光柵位于此處 ，當(dāng)兩個光柵相對運(yùn)動時，入射光進(jìn)行調(diào)制：在狹縫對齊時，光線通過 ，如果一個光柵的刻線與另一個光柵的狹縫對齊，光線無法通過 ，光電池組將這些光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)化成電信號 ，特殊結(jié)構(gòu)的掃描掩膜將光強(qiáng)調(diào)制為近正弦輸出信號 ，光柵條紋的柵距越小，掃描掩膜與光柵尺間的間距越小和公差越嚴(yán) ，LC、LS和LB系列直線光柵尺為成像掃描原理

干涉掃描原理

干涉掃描原理是利用精細(xì)光柵的光衍射和光干涉生成位移測量的信號 ，階梯光柵作為測量基準(zhǔn)：在平整反光表面上刻有高度為0.2 ?m的反光線 ，其前方是掃描掩膜，其柵距與光柵尺的柵距相同，是透射相位光柵 ，光波穿過掃描掩膜時，將光波衍射為光強(qiáng)近似的三束光：1、0和-1 ，在被光柵尺衍射的光波中，在反射的衍射光中，光強(qiáng)的光束為 1和-1 ，這兩束光在掃描掩膜的相位光柵處再次相遇，再一次被衍射和干涉 ，也形成三束光，并以不同的角度離開掃描掩膜 ，光電池將這些交變的光強(qiáng) ，轉(zhuǎn)化成電信號 ，當(dāng)光柵與掃描掩膜之間有相對運(yùn)動時，衍射的光波前產(chǎn)生相位移：移過一個柵距時將正一級衍射光的波前在正方向上偏移一個光波波長，而負(fù)一級衍射的光波前在負(fù)方向上偏移一個光波波長 ，由于這兩束光離開相位光柵時相互發(fā)生干涉，這兩束光彼此相對位移兩個光波波長 ，也就是說，相對運(yùn)動一個柵距可以得到兩個信號周期 ，干涉光柵尺的柵距較小，例如8 ?m、4?m甚至更小 ，其掃描信號基本沒有高次諧波，能進(jìn)行高倍頻細(xì)分 ，因此，這些光柵尺特別適用于小測量步距和***應(yīng)用 ，LF系列封閉式直線光柵尺采用干涉掃描原理

它是***終檢測中確定的并標(biāo)注在檢定記錄圖中

庫存型號列表：

光柵尺 689697-01 LC?185?140?5,0

光柵尺 689697-02 LC?185?240?5,0

光柵尺 689697-03 LC?185?340?5,0

光柵尺 689697-04 LC?185?440?5,0

光柵尺 689697-05 LC?185?540?5,0

光柵尺 689697-06 LC?185?640?5,0

光柵尺 689697-07 LC?185?740?5,0

光柵尺 689697-08 LC?185?840?5,0

光柵尺 689697-09 LC?185?940?5,0

光柵尺 689697-10 LC?185?1040?5,0

光柵尺 689697-11 LC?185?1140?5,0

光柵尺 689697-12 LC?185?1240?5,0

光柵尺 689697-13 LC?185?1340?5,0

光柵尺 689697-14 LC?185?1440?5,0

光柵尺 689697-15 LC?185?1540?5,0

光柵尺 689697-16 LC?185?1640?5,0

光柵尺 689697-17 LC?185?1740?5,0

光柵尺 689697-18 LC?185?1840?5,0

光柵尺 689697-19 LC?185?2040?5,0

光柵尺 689697-20 LC?185?2240?5,0

光柵尺 689697-21 LC?185?2440?5,0

光柵尺 689697-22 LC?185?2640?5,0

光柵尺 689697-23 LC?185?2840?5,0

光柵尺 689697-24 LC?185?3040?5,0

編碼器 1065932-11 ECN 413 2048

編碼器 1109254-05 ROC 413 2048

編碼器 1109258-04 EQN 425 512

編碼器 1131753-01 ROQ 425 512

編碼器 1131753-07 ROQ 425 512

編碼器 1132407-03 EQN 425 512

編碼器 1169566-52 ERN 1331 1024

編碼器 358699-01 RON 285C 18000

編碼器 360737-22 ERO 1480 512

編碼器 376836-20 ROD 436 1024

編碼器 376837-6X ROD 436 2048

編碼器 376846-LP ROD 426 2000

編碼器 376866-37 ROD 466 5000

編碼器 376880-63 ROD 480 2048

編碼器 376886-0B ROD 486 5000

編碼器 376886-31 ROD 486 2048

編碼器 376886-3K ROD 486 2500

編碼器 376886-A6 ROD 486 2048

編碼器 385420-0X ERN 420 4096

編碼器 385438-30 ERN 430 1024

編碼器 385438-31 ERN 431 1024

編碼器 385460-31 ERN 460 500

編碼器 385480-0A ERN 480 1024

編碼器 385480-31 ERN 480 1024

編碼器 385480-41 ERN 480 2048

編碼器 385480-48 ERN 480 1024

編碼器 534904-05 ROD 1080 1000

編碼器 534913-18 ERN 1080 2500

編碼器 586657-03 EQN 425 512

編碼器 589612-2B ERN 130 2048

編碼器 635066-56 ERN 1381 2048

編碼器 667590-01 RCN 8380 32768 ? 100mm

編碼器 667596-01 RCN 8380 32768 ? 60mm

編碼器 667785-01 RCN 2380 16384

編碼器 667786-01 RCN 2580 16384

編碼器 667831-01 RCN 5380 16384

編碼器 749144-01 ERN 1387 2048

編碼器 749144-59 ERN 1387 2048

編碼器 749147-04 ERN 1387 2048

編碼器 751363-01 RCN 2390F 16384

編碼器 751365-01 RCN 2390M 16384

編碼器 768295-11 ECN 1313 512

編碼器 810800-02 ECN 113 2048

編碼器 810800-24 ECN 113 2048

編碼器 810800-50 ECN 113 2048

編碼器 810800-53 ECN 113 2048

編碼器 810800-61 ECN 113 2048

編碼器 823901-52 EQN 1325 2048

編碼器 827039-06 EQN 1325 2048

編碼器 827039-12 EQN 1325 2048

讀數(shù)頭 1144048-02 AK ERM 2480 1024

讀數(shù)頭 1144048-04 AK ERM 2480 2048

讀數(shù)頭 1144048-07 AK ERM 2480 2048

讀數(shù)頭 1144048-13 AK ERM 2480 900

讀數(shù)頭 1144048-15 AK ERM 2480 2048

讀數(shù)頭 1144048-55 AK ERM 2480 1024

讀數(shù)頭 1144048-61 AK ERM 2480 1400

讀數(shù)頭 1144048-71 AK ERM 2480 2720

讀數(shù)頭 315420-03 AE LB 382

讀數(shù)頭 315420-04 AE LB 382C

讀數(shù)頭 393000-99 AK ERM 280 2176

讀數(shù)頭 594878-01 AE LS 187C

讀數(shù)頭 594878-02 AE LS 187

讀數(shù)頭 658492-01 AE LS 186C

光柵尺 689681-16 LC 485 820 5.0

光柵尺 689681-19 LC 485 1020 5,0

光柵尺 689696-04 LC 185 440 3,0

光柵尺 689697-01 LC 185 140 5,0

光柵尺 689697-02 LC 185 240 5,0

光柵尺 689697-03 LC 185 340 5,0

光柵尺 689697-04 LC 185 440 5,0

光柵尺 689697-05 LC 185 540 5,0

光柵尺 689697-06 LC 185 640 5,0

光柵尺 689697-07 LC 185 740 5,0

光柵尺 689697-08 LC 185 840 5,0

光柵尺 689697-09 LC 185 940 5,0

光柵尺 689697-10 LC 185 1040 5,0

光柵尺 689697-11 LC 185 1140 5,0

光柵尺 689697-12 LC 185 1240 5,0

光柵尺 689697-13 LC 185 1340 5,0

光柵尺 689697-14 LC 185 1440 5,0

光柵尺 689697-15 LC 185 1540 5,0

光柵尺 689697-16 LC 185 1640 5,0

光柵尺 689697-17 LC 185 1740 5,0

光柵尺 689697-18 LC 185 1840 5,0

光柵尺 689697-19 LC 185 2040 5,0

光柵尺 689697-20 LC 185 2240 5,0

光柵尺 689697-21 LC 185 2440 5,0

光柵尺 689697-22 LC 185 2640 5,0

光柵尺 689697-23 LC 185 2840 5,0

光柵尺 689697-24 LC 185 3040 5,0

光柵尺 760912-03 LC 195S 240 5,0

光柵尺 760933-01 LC 495F 70 5,0

濾芯 337147-01 Filterelement for DA300

濾芯 337148-01 Filterelement for DA300

濾芯 810415-01 VF-DA400

濾芯 810416-01 FF-DA400

濾芯 810421-01 AK-DA400

濾芯 894602-01 DA 400

長度計(jì) 243602-06 MT 12

長度計(jì) 331666-01 MT 1271

長度計(jì) 331667-01 MT 2571

長度計(jì) 363409-02 MT 2581

長度計(jì) 375133-02 ST 3078

長度計(jì) 375134-02 ST 3078

長度計(jì) 376990-01 MT 1287

長度計(jì) 383963-03 ST 1278

長度計(jì) 383963-05 ST 1278

長度計(jì) 383965-02 ST 1278

長度計(jì) 383965-03 ST 1278

長度計(jì) 383973-01 ST 1277

長度計(jì) 383975-01 ST 1287

長度計(jì) 383978-01 ST 1288

長度計(jì) 511398-01 ST 3077

長度計(jì) 511399-01 ST 3087

長度計(jì) 511401-01 ST 1287