OSAKA大阪真空全方位安裝復合分子泵TG-F系列
OSAKA大阪真空全方位安裝復合分子泵TG-F系列
產品價格:¥22.22(人民幣)
  • 規格:完善
  • 發貨地:上海市閔行區
  • 品牌:
  • 最小起訂量:1
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    商品詳情
      產品參數
      品牌OSAKA大阪真空
      吸氣口法蘭VG100 CF100 ISO-R100
      極限壓力1×10-6Pa
      啟動時間2-2.5min
      停止時間5-6.5min
      安裝角度任意
      可售賣地北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆


      OSAKA大阪真空

      全方位安裝復合分子泵 TG-F系列

      使用了脂潤滑陶瓷軸承,實現了小型、輕量、低成本。 耐外部震動,耐沖擊能力強,可以把分子泵搭載到可搬式設備或設備的可動部,拓展了渦輪分子泵的新應用。提供排氣速度50L/s ~ 2400L/s的產品。

      產品型號:

      TG50F、TG60F、TG70F、TG220F、TG240F、TG350F

      TG450F、TG800F、TG1100F、TG1400F、TG2400F

      產品特點:

      全方位安裝
      ?輕巧設計
      ?節能
      ?迅速啟動

      ?使用破控功能可迅速停止

      ?耐大氣沖擊能力強

      ?多種通信模式

      ?符合安全規格NRTL/SEMI-S2/CE

      產品應用:

      半導體制造
      ?電子槍排氣,離子源排氣
      ?FPD制造
      ?表面處理,表面改質
      ?各種電子部件的制造
      ?分析,試驗裝置
      ?管球制造,光學部件制造
      ?加速器,放射線設施,核聚變研究
      ?熱處理
      ?研究開發

      ※排放腐蝕性氣體時,請選擇耐腐蝕性的TG-M,TG系列


      技術參數:

      吸氣口法蘭VG100
      CF100
      ISO-R100
      排氣速度VG/ISO-R?CF N2?(L/s)350/330
      VG/ISO-R?CF N2(附加金屬保護網) (L/s)330/310
      VG/ISO-R?CF H2?(L/s)210
      zui大壓縮比N21×108
      H22×103
      極限壓力Pa/Torr<1×10-6/<7.5×10-9
      zui大氣體流量※1N2 (sccm)500
      啟動時間(min)?2-2.5
      停止時間(min)5-6.5
      允許輔助壓力(Pa/Torr)260/2
      推薦輔助泵(L/min)≧80
      安裝角度任意
      重量VG?ISO-R/CF(kg)4.2/6
      • ※1:輔助泵的容量是160L/min情況下的zui大容許流量
      • [ 使用環境溫度 ]
      • 極限壓力保證環境溫度是10~23℃。另外,容許環境溫度在空冷情況下是10~32℃,水冷情況下是10~40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時容許冷卻水溫是10~35℃。

      • 控制器型式TC353
        輸入電壓(ACV)100-110 (±10) / 200-230 (±10)
        輸入頻率(Hz)50/60
        相數単相
        所需zui大電力(VA)610
        輸出頻率(Hz)750
        重量(kg)2.7
        標準附屬品?輸入接頭 1個
        ?遠控接插頭 1個
        ?通信接插頭1個
        ?使用說明書 (機身,通信)各1套



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