1.真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求，如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg，通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)目級。

2.正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)，每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為10-3～10-7 mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4～×5-10-6 mmHg，因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8 mmHg下長期工作，又如鈦貨泵可以在10-2 mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5 mmHg為好。

4.正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求，如鈦升貨泵  對氫有很高的抽速，但不能抽擬，而三極型濺射離子泵，（或二級型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度，另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空，有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

5.真空設(shè)備對油污染的要求，若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。假如要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。

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