產品規格，純度可按客戶要求定制

碳化物靶材Carbide Sputtering Targets：  

碳化鋁Al4C3;碳化硼B4C;碳化鉻Cr3C2;碳化鉿HfC;碳化鑭LaC2;碳化鉬Mo2C;碳化鈮NbC;碳化鎳Ni3C；碳化硅SiC;碳化鉭TaC;碳化鈦TiC;碳化釩VC;碳化鎢WC;碳化鋯ZrC； 

氟化物靶材Fluoride Sputtering Targets： 

氟化鋇BaF2;氟化鈣CaF2;氟化鋰LiF;氟化鎂MgF2;氟化鈉NaF; 氟化稀土（氟化鑭LaF3;氟化鈰CeF3;氟化釤SmF3;氟化釓GdF3;氟化鋱TbF3;氟化鏑DyF3;氟化鈥HoF3;氟化鉺ErF3;氟化鐿YbF3;氟化釔YF3;氟化鈧ScF3） 

硅化物靶材Silicide Sputtering Targets ：

二硅化鈷CoSi2;二硅化鉻CrSi2;二硅化鉿HfSi2;二硅化鉬MoSi2;二硅化鈮NbSi2;二硅化鎳NiSi2;二硅化鉭TaSi2;二硅化鈦TiSi2;二硅化釩VSi2;二硅化鎢WSi2;二硅化鋯ZrSi2；