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其步驟為，切斷電源，將真空泵從真空系統上卸下，用重力法或加壓法將臟油放出并收集起來，以免污染環境；卸下皮帶、皮帶輪積鍵(雙級旋片真空泵包含皮帶);先拆低真空端，取下后端蓋，再取出低真空轉子、旋片及彈簧等；將前端蓋拆下，取出高真空轉子、旋片及彈簧等；取下視鏡、排氣閥、排氣蓋等；將所拆下的金屬零件用汽油清洗干凈，并用酒精脫水。橡膠零件可用15％的氫氟化鈉水溶掖煮沸去油。
