氧化擴散爐性能特點：
◆具有可編程的升、降溫功能
◆采用濾波器、屏蔽板等裝置，有效解決電網(wǎng)、磁場的干擾
◆windows xp全中文視窗操作系統(tǒng)，可儲存1000條曲線，每條曲線設置30步
◆自動運行中可暫停／繼續(xù)運行功能
◆智能升降溫斜率控制功能
◆PlD參數(shù)自整定功能，可存儲多組PlD參數(shù)供系統(tǒng)運行調(diào)用功能
◆系統(tǒng)故障的檢測與報警功能、系統(tǒng)誤差修正(單點或多點動態(tài)修正功能)
◆具有停電后斷點繼續(xù)運行功能
◆工藝方式：干法氧化、濕法氧化、水汽氧化