可完全代替進(jìn)口爐體，--加熱爐絲，進(jìn)口保溫材料，采用國外先進(jìn)加工工藝，爐體可長期使用在高溫下，處理12英寸以下硅片，工作溫度2000℃-1286℃。
設(shè)備特點：?
可保存多條工藝曲線每條曲線可設(shè)置多步
工藝曲線的自動運(yùn)行控制功能
工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝步運(yùn)行功能
自動運(yùn)行中可暫停／繼續(xù)運(yùn)行功能
可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能
PID參數(shù)自整定功能
工藝氣體的程序控制功能
關(guān)鍵部件全部具有高可靠性
具有良好的人機(jī)界面
系統(tǒng)故障自診功能
停電后斷點繼續(xù)運(yùn)行功能等等
具有歷史記錄功能
具有多點溫度補(bǔ)償
技術(shù)指標(biāo)：
可配置工藝管外徑2～8英寸
可配置工藝管數(shù)量：1～4管/臺
工作溫度范圍：400～1300℃
恒溫區(qū)長度及精度：300～1250mm 800～1300℃±0.5℃
單點溫度穩(wěn)定性：800～1300℃±0.5℃/24h
大可控升溫速率：15℃/min
大降溫速率：5℃/min?