商鋪名稱:蘇州昆上宇電子科技有限公司
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產品參數 | |||
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品牌 | 貝意克 | ||
尺寸 | 1600mm*650mm*1400mmcm | ||
底座 | 帶輪子 | ||
桿長 | 230 | ||
產品規(guī)格 | BTF-1200C-S-R-PECVDmm | ||
控溫方式 | 7 |
迷你智能型等離子體可回轉化學氣相沉積系統(tǒng)
1.該設備爐管可360度旋轉,管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻;
2.該款設備是全自動Plasma增強CVD系統(tǒng)(PECVD),系統(tǒng)可以實現連續(xù)滑動溫區(qū),連續(xù)可控溫度以及Plasma強度等,配備真空系統(tǒng),可以實現低壓條件下的實驗,針對低溫石墨烯、碳納米管生長等。PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產生區(qū),輝光均勻等效,這種技術很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現象。