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俄歇電子能譜（AES）

測試項目：
1、表面元素搜索分析
針對產品表面涂層、鍍層、污點成分分析
2、表面和離子濺射一定深度再元素搜索分析
針對產品表面涂層、鍍層、污點成分分，隨著濺射深度增加，再做出內部成分，可   對比
3、縱向分布分析
元素隨著深度變化含量曲線
4、元素含量分布圖
元素在產品表面上的分布圖

精確度：0.1-1%（在成分分析中，此精確度比較低，但對于一些極微小的雜質來說，基本不用在做精確定量，知道主成分既可滿足大多數要求）

分析尺寸：能分析小至25納米的顆粒

應用領域：產品表面污染物、薄膜化學成分的分產品表面超薄涂層或雜質的元素含量等