微波無紫外光源是一種在高能微波場中發生電離而發光的紫外線光源，它的燈管既沒有燈絲，也沒有電只在超高真空的高純石英玻璃管中充入少量惰性氣體。由于其沒有電所以不存在電與石英玻璃封裝時電導絲與玻璃熔接的慢漏氣現象，由于其沒有燈絲，所以不存在燈管的啟動次數跟燈管壽命成反比的問題，（國外較的燈絲啟動次數大概800--1000次就會燒斷）所以說目前無極紫外線光源跟微波紫外線光源是目前世界上壽命很長的光源。

微波無極紫外線燈主要由驅動電源，磁控管，微波波導，諧振腔，燈管，屏蔽網組成，磁控管就是一個微波源，他將驅動電源提供的電能轉化為微波能，由微波天線輸出，經過波導輸出到電磁諧振箱（一般的金屬箱體常規的鐵箱，不銹鋼箱，鋁箱等）諧振箱內的微波由于反射和折射將充滿整個箱體，也就是整個箱體內是一個高能量微波區域，位于此區域的無極燈管中的惰性氣體會發生電離激發出140nm---400nm波長的紫外光。