玻璃基微流控芯片激光雕刻設備是一款基于CO?激光技術的加工系統,專為玻璃、石英等硬脆材料的微流控芯片制造而研發。設備通過高精度激光能量控制,實現玻璃基材的無損切割、微通道雕刻及表面改性,突破傳統光刻工藝的復雜流程與高成本限制,為生物醫學檢測、高通量藥物篩選、即時診斷(POCT)等領域提供高效、靈活的加工解決方案。
核心技術優勢
亞微米級精密加工
采用超穩定CO?激光源與高精度振鏡系統,聚焦光斑直徑小,雕刻精度高,輕松實現玻璃基芯片中微通道、微反應腔及復雜結構的無掩模直寫,確保流體控制的精準性與一致性。
支持多層玻璃基板的對位雕刻與透射式加工,滿足微混合器、液滴生成器等精密功能單元的一體化成型需求。
無裂紋冷加工技術
創新脈沖激光調制技術,結合實時溫度監測系統,有效控制熱影響區,避免玻璃因熱應力產生微裂紋或崩邊,成品良率提升至99%以上。
非接觸式加工避免機械應力損傷,邊緣粗糙度低,可直接進行親疏水改性或鍵合封裝。
智能化工藝集成
搭載專用微流控設計軟件,支持AutoCAD、DWG文件一鍵導入,加工效率較傳統工藝提升3倍。
多材料兼容性與擴展性
除玻璃基材外,兼容PDMS、PMMA等微流控常用材料的切割與打標,支持異質材料復合器件加工,助力器官芯片、單細胞分析等前沿研究。
典型應用場景
生物檢測芯片:快速雕刻微量樣本檢測通道,適配生化傳感、DNA分析等應用。
高通量藥物篩選:批量加工多孔微腔陣列芯片,提升藥物遞送實驗效率。
即時診斷(POCT)設備:高精度制作低成本一次性玻璃芯片,滿足體外診斷設備量產需求。
光學微流控器件:利用玻璃透光性優勢,加工集成光學檢測窗口的微流控系統。
服務與保障
全周期支持:提供工藝開發、設備培訓及定制化解決方案,協助客戶快速實現從設計到量產。
品質認證:核心部件采用進口配置,確保設備壽命超10萬小時。
安全防護:全封閉式艙體設計,配備Class 1激光安全防護與智能除塵系統,保障操作安全性與環境清潔度。
選擇我們的理由
突破技術瓶頸:替代傳統光刻與濕法蝕刻,加工周期縮短70%,單件成本降低60%。
高兼容性與靈活性:支持科研級小批量試制與工業級連續生產,無縫銜接微流控芯片迭代需求。
可持續升級:模塊化設計支持功率升級(30W-100W)與AI工藝優化系統擴展,持續賦能未來創新。