有效降低停機維護次數(shù)，為降低購置成本帶來更大的可能性
優(yōu)化處理，以延長研磨墊及研磨盤的使用壽命
化學及機械雙重力量牢固綁定鉆石，提供堅固穩(wěn)定的鉆石耐受力
獨特的聚合物基材增強了耐腐蝕性
高度工程化定制化的鉆石研磨盤，利用燒結(jié)工藝，提供穩(wěn)定均勻的鉆石排布、銳利度及高度，專為半導體高階CMP應(yīng)用提供解決方案