低溫等離子體技術是采用脈沖高壓高頻等離子體電源和齒板放電裝置，電子獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中，獲得能量的分子或原子被激發，同時部分分子被電離產生高強度、高濃度、高電能的離子、活性集團，之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱能。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲成為負離子。這類負離子具有良好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

廢氣中的污染物質可與這些具有較高能量的物質發生反應，使廢氣分子電離、解離和激發，然后引發一系列復雜的氧化還原反應，使復雜大分子污染物轉變成為簡單小分子無機物，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。