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光氧催化設備主要利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣如：氨、三，甲，胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化 碳和苯乙烯、硫化物H2S，VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物的分子鏈在高能紫外線的光束的照射下降解轉變成低分子 化合物，如CO2和H2O等。利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子及水分子產生游離氧（活性氧）和OH自由基，因游離氧和所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2---O_+O*(活性氧)+O2---O3（臭氧），眾所周知臭氧對有機物具有氧化作用，對工業廢氣及其它刺激性異味有效果。
另外通過添加特制催化劑：根據不同的廢氣成分配置27種以上相對應的惰性催化劑，催化劑采用蜂窩狀金屬網孔作為載體，與光源接觸，惰性催化劑在338納米光源以下發生催化反應，放大10-30倍光源效果，使其與廢氣進行充分反應，縮短廢氣與光源接觸時間，從而提高廢氣凈化效率。
