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真空轉(zhuǎn)臺參數(shù)及尺寸圖（可定制）
型號
CRS10K
CRS20K
CRS30K
CRS60K
CRS90K
CRS120K
角度范圍
360°
整步分別率
0.036°
0.018°
0.012°
0.006°
0.004°
0.003°
每轉(zhuǎn)的步數(shù)
10000
20000
30000
60000
90000
120000
最大速度（負(fù)載）
10s/rev
20s/rev
30s/rev
30s/rev
45s/rev
60s/rev
豎直負(fù)載能力
1kg
水平負(fù)載能力
10kg
背隙（無負(fù)載）
小于分別率
真空度
1x10-10mbar
最大溫度
-65℃ to +200℃
電機(jī)
D35.1
重量
640g
710g
710g
940g
940g
940g
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