在鑿巖機不斷發展的同時，伴隨深孔鑿巖的增加，人們注意到深孔鑿巖在釺桿接頭處散失的沖擊能量較大，提出將鑿巖機送入孔底鑿巖的設想，美國英格索爾—蘭特公司首先在1932年獲得這一專利，但受各種條件限制直到40年代末才在礦山使用。真正與現代潛孔沖擊器結構相近的則是1951年比利時工程師安德列·斯坦紐依科設計制造的潛孔沖擊器，它不僅減少了能量傳遞損失，還大大降低噪聲，之后，潛孔鉆機不斷改進完善并在地下和露天礦山得到推廣，工作氣壓由低的0.5~0.6MPa上升至20世紀70年代初的1.4~1.75MPa，70年代末又增加到2.1~2.46MPa。